靈敏度是指微型傳感器在穩(wěn)態(tài)工作情況下輸出量變化△y對輸入量變化△x的比值。 　
　　它是輸出一輸入特性曲線的斜率。如果微型傳感器的輸出和輸入之間顯線性關(guān)系，則靈敏度S是一個常數(shù)。否則，它將隨輸入量的變化而變化。 　
　　靈敏度的量綱是輸出、輸入量的量綱之比。例如，某位移傳感器，在位移變化1mm時，輸出電壓變化為200mV，則其靈敏度應(yīng)表示為200mV/mm。 　
　　當(dāng)微型傳感器的輸出、輸入量的量綱相同時，靈敏度可理解為放大倍數(shù)。 　　
　　提高靈敏度，可得到較高的測量精度。但靈敏度愈高，測量范圍愈窄，穩(wěn)定性也往往愈差。
　　微型傳感器的分辨率
　　分辨率是指微型傳感器可感受到的被測量的最小變化的能力。也就是說，如果輸入量從某一非零值緩慢地變化。當(dāng)輸入變化值未超過某一數(shù)值時，微型傳感器的輸出不會發(fā)生變化，即傳感器對此輸入量的變化是分辨不出來的。只有當(dāng)輸入量的變化超過分辨率時，其輸出才會發(fā)生變化。 　　
　　通常微型傳感器在滿量程范圍內(nèi)各點的分辨率并不相同，因此常用滿量程中能使輸出量產(chǎn)生階躍變化的輸入量中的最大變化值作為衡量分辨率的指標(biāo)。上述指標(biāo)若用滿量程的百分比表示，則稱為分辨率。分辨率與微型傳感器的穩(wěn)定性有負(fù)相相關(guān)性。
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